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可变环境下微纳传感器的自动加载平台

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专利申请号
CN201210569240.4
专利类型
发明专利
技术分类
G01D18/00(2006.01)I
专利有效期
2032-12-25
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专利信息
专利名称:可变环境下微纳传感器的自动加载平台
商品编号:5791419
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申请日期:2012-12-25
公开/公告号:CN103048013A
授权公告日/公开日:2013-04-17
申请/专利权人: 中**学
发明/设计人: 谭**
主分类号:G01D18/00(2006.01)I
IPC分类号:G01D18/00(2006.01)I;G01P21/00(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要

本发明属于微纳器件标定测试的技术领域,具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台,解决了目前由于微纳器件,如压力传感器、加速度传感器等的特殊性,大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板;所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点满足传感器多种参数的同时或分别测试需求,解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题,适用于复杂环境测试场合;量实现标定、测试的高精度需求。

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