一种用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液及其应用

一种用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液，由纳米研磨料、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂、助清洗剂和溶剂组成，纳米研磨料为氧化锆、氧化钛、氧化钸或二氧化硅，pH调节剂包括无机碱为KOH和有机碱四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或羟基胺，表面活性剂为硅烷聚二乙醇醚、聚二乙醇醚或十二烷基乙二醇醚，消泡剂为聚二甲基硅烷，杀菌剂为异构噻唑啉酮，助清洗剂为异丙醇；溶剂为去离子水。本发明的优点是：抛光速率稳定可控、损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境、储存时间长。利用该抛光液对氧化钒薄膜材料进行化学机械抛光来制备阻变存储器，方法简单易行，而且与集成电路工艺完全兼容。