一种4H-SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管
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专利申请号:
CN201610335266.0
专利类型:
发明专利
技术分类:
H01L29/417(2006.01)I
专利有效期:
2036-05-19
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专利信息
专利名称:一种4H-SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管
商品编号:5713766
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申请日期:2016-05-19
公开/公告号:CN105845718B
授权公告日/公开日:2016-08-10
申请/专利权人:
杭州***大学
发明/设计人:
王颖***成浩
主分类号:H01L29/417(2006.01)I
IPC分类号:H01L29/417(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/7
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种4H‑SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管,包括依次层叠设置的P型集电极区,N型漂移区,N型的电流增强层,P型基体区,P型体接触区,N型发射区、发射极金属和集电极金属;还包括第一沟槽与第二沟槽,所述第一沟槽与第二沟槽自器件的上表面穿透P型基体区终止在N型漂移区内;所述第一沟槽内填充第一氧化层和第一多晶硅,所述第二沟槽内的第二多晶硅底部被重掺杂的P型区与N型漂移区隔开,侧面被第二氧化层与P型体接触区、P型基体区及N型漂移区隔开;所述的重掺杂屏蔽区通过第二多晶硅与发射极连接。本发明减小了4H‑SiC沟槽IGBT的栅氧底部拐角的电场强度,达到降低器件的正向导通压降以减小器件损耗的目的。
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