数字市场 专利库 一种制备钛铝合金薄膜的方法
一种制备钛铝合金薄膜的方法

一种制备钛铝合金薄膜的方法

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专利申请号：
CN201510648669.6
专利类型：
发明专利
技术分类：
C23C16/18(2006.01)I
专利有效期：
2035-10-09
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专利信息
专利名称：一种制备钛铝合金薄膜的方法
商品编号：5641752
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申请日期：2015-10-09
公开/公告号：CN106567053B
授权公告日/公开日：2019-03-15
申请/专利权人： 中国***究所
发明/设计人： 丁玉***淑艳
主分类号：C23C16/18(2006.01)I
IPC分类号：C23C16/18(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要

本发明提供了一种制备TiAl合金薄膜的方法，其中，提供反应腔室，该反应腔室内放置有至少一个衬底；向反应腔室中引入铝前驱物和钛前驱物，所述铝前驱物具有结构式(I)的分子结构；使所述铝前驱物和所述钛前驱物与所述衬底接触，通过气相沉积在所述衬底表面形成钛铝合金薄膜。本发明提供的方法解决了传统PVD在小尺寸器件中的台阶覆盖问题及不完全填充的问题，同时也避免了采用等离子体辅助形成钛铝合金薄膜，使得基底不受等离子体损伤，保证器件性能和/或可靠性不受影响。

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