一种制备氮化铝晶体的装置和方法

本发明实施例提供一种制备氮化铝晶体的装置及方法，涉及材料制备技术领域，该装置包括：第一坩埚、第二坩埚、衬底和调温台；所述第一坩埚包括原料腔和反应腔，其中，所述反应腔的直径大于原料腔的直径，所述原料腔位于所述第一坩埚的底部，所述反应腔位于所述第一坩埚的开口处；所述衬底覆盖所述第一坩埚的开口，以使氮化铝晶体在所述反应腔升华后凝结于所述衬底上；所述调温台为中空结构，且中空部位的直径最小的一侧的置于所述衬底上，以调整所述衬底与外部空气的接触面积；所述第二坩埚包括原料腔和反应腔，其中，所述第二坩埚的原料腔位于所述第二坩埚的底部，所述第二坩埚的原料腔的直径小于所述第二坩埚的反应腔的直径。