一种压电叠堆泵

本发明属于微流体传输领域，具体涉及一种压电叠堆泵。泵体上设有出入孔、至少两个体腔及与体腔数量相等的储气室，从入孔到出孔的各体腔直径依次减小；体腔上设有进口腔和与储气室连通的出口腔，出入孔与分别其相邻体腔的出口腔和进口腔连通，两相邻体腔的进出口腔相连通；进出口腔与其内所装阀片构成进出口阀；泵盖装在泵体上且其间压有隔膜，泵盖的导向孔和体腔对称配置在隔膜两侧，隔膜将密封圈压接在体腔内形成泵腔；导向孔中的压电叠堆将活塞压接在隔膜上；压电叠堆包括驱动单元和传感单元；各压电叠堆的驱动单元和传感单元都采用独立的导线组与驱动电源相连，驱动单元受直流驱动电压作用时根据传感单元感应电压的变化情况使驱动电压换向。