热板结构

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专利申请号：

CN201810289841.7

专利类型：

发明专利

技术分类：

H01L21/67(2006.01)I

专利有效期：

2038-04-03

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专利信息

专利名称：热板结构

商品编号：5904285

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申请日期：2018-04-03

公开/公告号：CN108538760B

授权公告日/公开日：2018-09-14

申请/专利权人：德淮***公司

发明/设计人：张党***哲安

主分类号：H01L21/67(2006.01)I

IPC分类号：H01L21/67(2006.01)I

说明书摘要免费下载摘要

本发明提供一种热板结构，包括：热腔体，热腔体由底板、侧板以及加热顶板围成，热腔体内填充有液体传热介质；加热装置，用于对液体传热介质进行加热，藉由液体传热介质对加热顶板进行传热，以提高加热顶板的受热均匀性；以及顶板温度探测器，设置于加热顶板中，用以监测加热顶板的温度并反馈至控制器，控制器基于温度控制加热装置的发热功率。本发明通过在热板中间设计一个热腔体，热腔体充满液体传热介质，在该热腔体中设置加热线圈与温度控制器，通过线圈对液体传热介质加热后间接传热至加热顶板，可以使加热顶板的温度更加均匀，提高控制精度，使晶圆上的图形线宽更加均匀，提高工艺良率。

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