自动清洗设备
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专利申请号:
CN201810333509.6
专利类型:
发明专利
技术分类:
B08B3/10(2006.01)I
专利有效期:
2038-04-13
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专利信息
专利名称:自动清洗设备
商品编号:5812042
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申请日期:2018-04-13
公开/公告号:CN108480306B
授权公告日/公开日:2020-04-07
申请/专利权人:
宁波***公司
发明/设计人:
叶*
主分类号:B08B3/10(2006.01)I
IPC分类号:B08B3/10(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要
本发明涉及硅片清洗设备领域,尤其是一种避免损坏硅片的清洗设备,具体涉及自动清洗设备,包括清洗筒,清洗筒上设有回流机构,回流机构用于搅动清洗筒内的清洗液,清洗筒内还设有多个互不相连的钢网囊,钢网囊内均设有用于包裹硅片的软质网膜,软质网膜与钢网囊互不相连,钢网囊内均设有抖动机构,抖动机构包括多个弹性件,抖动机构上固设有夹持部,夹持部包括夹头,夹头用于卡夹硅片,夹头夹持硅片的端部上粘接有软膜,弹性件另一端连接在夹持部上,弹性件以夹持部为中心点均匀分布。本发明通过清洗液的流动来搅动清洗液中的硅片,并在搅动时使硅片进行抖动,清洗液在硅片表面形成细小的水流,使硅片与清洗液接触更充分,硅片清洗更彻底。
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