一种电控离散液滴式光开关

本实用新型公开了一种电控离散液滴式光开关，该光开关采用三层结构，第一层为上极板，由方形透明玻璃1、透明电极2以及疏水薄膜3组成；第二层为方形透明玻璃层10，沿它的对角线开一条微流道5，流道中有受控离散电解质液滴4，在玻璃层同一水平面上开4个条形介质光波导6、7、8、9；第三层为下极板，由方形透明玻璃作基底15，多晶硅作衬底14，衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列13，电极阵列上热氧化一层SiO₂作介质层12，介质层上涂覆一层疏水薄膜11。本实用新型光开关结构简单、容易制作、成本低、电压低、能耗低、响应速度快、易与集成、具有实际应用价值。