一种隧穿型石墨烯纳米带场效应管

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专利申请号：

CN201920838935.5

专利类型：

实用新型

技术分类：

H01L29/423(2006.01)I

专利有效期：

2029-06-04

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专利信息

专利名称：一种隧穿型石墨烯纳米带场效应管

商品编号：5804560

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申请日期：2019-06-04

公开/公告号：CN209626224U

授权公告日/公开日：2019-11-12

申请/专利权人：南京***学

发明/设计人：王震***王伟

主分类号：H01L29/423(2006.01)I

IPC分类号：H01L29/423(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I

说明书摘要免费下载摘要

本实用新型公开了一种隧穿型石墨烯纳米带场效应管，包括源极、漏极、沟道、源区、漏区、SiO2氧化层及双栅极；所述沟道为石墨烯纳米条带；所述源区位于源极和沟道之间，漏区位于漏极和沟道之间，源区和漏区均为掺杂型石墨烯纳米管；源区包括P型重掺杂区和P型轻掺杂区，P型轻掺杂区靠近沟道，P型重掺杂区靠近源极，漏区包括N型重掺杂区和N型轻掺杂区，N型轻掺杂区靠近沟道，N型重掺杂区靠近漏极；沟道两侧各有一个SiO2氧化层，SiO2氧化层覆盖沟道、源区及漏区；双栅极包括两个子栅极，子栅极位于SiO2氧化层外侧，子栅极包括三种功函数不同的金属块。本实用新型具有更大的开关电流比。

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