一种超宽频带MEMS换能器
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专利申请号:
CN201710217878.4
专利类型:
发明专利
技术分类:
H04R19/00(2006.01)I
专利有效期:
2037-04-05
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专利信息
专利名称:一种超宽频带MEMS换能器
商品编号:5799688
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申请日期:2017-04-05
公开/公告号:CN107172553B
授权公告日/公开日:2017-09-15
申请/专利权人:
中**学
发明/设计人:
王红***柳明
主分类号:H04R19/00(2006.01)I
IPC分类号:H04R19/00(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要
本发明涉及水声领域的换能装置,具体涉及一种超宽频带MEMS换能器,包括封装外壳,封装外壳底部设置有PCB板基座,PCB板基座上设置有CMUT阵列,CMUT阵列包括依次设置的多个CMUT阵元,CMUT阵元与封装外壳之间设置有用于密封的硅油,CMUT阵元上设置有至少2组大小不同的振动微元,每个CMUT阵元均包括由下到上依次设置的基座层,绝缘层和振动薄膜层,振动薄膜层上设置有多个图形化的上电极,基座层上与多个上电极对应位置设置有下电极,绝缘层上与上电极对应位置设置有空腔,每一个上电极及与其对应的振动薄膜层、绝缘层、空腔、基座层、下电极和基座构成一个振动微元,不同组的振动微元交错设置在CMUT阵元上。本发明可拓宽MEMS换能器的特征频率,可应用于水声换能领域。
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