数字市场 专利库 架空式热电堆红外探测器
架空式热电堆红外探测器

架空式热电堆红外探测器

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专利申请号：
CN201310630796.4
专利类型：
发明专利
技术分类：
H01L31/18(2006.01)I
专利有效期：
2033-12-02
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专利信息
专利名称：架空式热电堆红外探测器
商品编号：5799549
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申请日期：2013-12-02
公开/公告号：CN103700722B
授权公告日/公开日：2018-03-30
申请/专利权人： 中**学
发明/设计人： 王红***大鹏
主分类号：H01L31/18(2006.01)I
IPC分类号：H01L31/18(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;G01J5/12(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要

本发明涉及热电堆红外探测器，具体是一种架空式热电堆红外探测器。进一步改进了热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括：1、在SOI衬底正面加工两隔离槽，划分出了两个热电偶加工区；2、加工SiO2介质支撑膜；3、加工构成热电偶的P/N型多晶硅条；4、加工下层SiO2隔离层及后续加工用金属连接加工孔；5、完成金属连接；6、加工上层SiO2隔离层及后续加工用释放孔；7、加工聚酰亚胺牺牲层及露出热电堆热结区的倒梯形凹槽；8、加工用作热辐射吸收层的三层薄膜结构；9、去除聚酰亚胺牺牲层；10、将SiO2介质支撑膜下的热电偶加工区空腔化；11、实现架空式热辐射吸收层。本发明结构设计合理，制作工艺易于实现，成品性能提高明显，具有良好的发展前景。

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