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十字电流型三轴矢量磁传感器

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专利申请号
CN201110434180.0
专利类型
发明专利
技术分类
G01R33/07
专利有效期
2031-12-22
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专利信息
专利名称:十字电流型三轴矢量磁传感器
商品编号:5791466
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申请日期:2011-12-22
公开/公告号:CN102520376A
授权公告日/公开日:2012-06-27
申请/专利权人: 中**学
发明/设计人: 唐军***宏庆
主分类号:G01R33/07
IPC分类号:[G01R33/07,|B81C1/00]
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本发明涉及MEMS磁传感器领域,具体是一种十字电流型三轴矢量磁传感器。本发明为了解决现有磁传感器精度低、灵敏度差的问题。十字电流型三轴矢量磁传感器,包括GaAs衬底、两个基于RTD的竖直型电流霍尔器件以及一个基于HEMT的水平型电流霍尔器件;其是由包括如下步骤的制备方法制得的:制作基片;形成两个梯形RTD台面和HEMT台面;制备两个基于RTD的竖直型电流霍尔器件;制备基于HEMT的水平型电流霍尔器件。本发明所述的磁传感器精度高、灵敏度好,可广泛适用于各种导航系统。

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