声表面波传感器的制备方法、所制备的传感器及其应用
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专利申请号：
CN201910530051.8
专利类型：
发明专利
技术分类：
G01N29/02(2006.01)I
专利有效期：
2039-06-19
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专利信息
专利名称：声表面波传感器的制备方法、所制备的传感器及其应用
商品编号：5758455
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申请日期：2019-06-19
公开/公告号：CN110208370B
授权公告日/公开日：2020-12-29
申请/专利权人：
西南***学
发明/设计人：
永远***吴浪
主分类号：G01N29/02(2006.01)I
IPC分类号：G01N29/02(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种声表面波传感器的制备方法、所制备的传感器及其应用，所述制备方法步骤如下：S1、制备SAW芯片；S2、制备磁控溅射模具：所述磁控溅射模具由上模具和下模具通过螺栓或磁性连接；所述下模具设置有可放置SAW芯片的SAW芯片卡槽阵列，上模具开有与SAW芯片延迟线区域对应的多个矩形通孔；S3、沉积ZnO薄膜：在所述SAW芯片表面通过磁控溅射沉积尺寸为25～45nm的纳米颗粒状ZnO薄膜；所述磁控溅射沉积ZnO薄膜分多层沉积，通过调节不同沉积层磁控溅射参数差异控制在SAW芯片表面沉积的ZnO薄膜形貌。上述制备方法制备的声表面波用于对空气中湿度的检测，在湿度检测中平均线性灵敏度高达573.4 Hz/%RH。
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声表面波传感器的制备方法、所制备的传感器及其应用专利，专利类型：发明授权，技术分类是：G01N29/02(2006.01)I，购买声表面波传感器的制备方法、所制备的传感器及其应用专利，需要申请人和发明人的基础信息，还需提供声表面波传感器的制备方法、所制备的传感器及其应用专利的详细信息。
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