一种CoCrFeNi高熵合金掺杂非晶碳薄膜及其制备方法

本发明公开了一种CoCrFeNi高熵合金掺杂非晶碳薄膜及其制备方法，是采用具有较高堆垛层错形成能力的CoCrFeNi高熵合金作为掺杂组元，以氩气作为溅射气体，通过物理气相沉积装置制备的具有CoCrFeNi纳米孪晶结构掺杂的非晶碳薄膜材料。该薄膜的显著特征在于，在非晶碳中掺入了高熵相。不同于单组元或多组元掺杂，该薄膜可利用高熵相形变诱导塑性的特征，解决非晶碳薄膜高残余应力的问题，并通过高熵相孪晶结构的形成，使该薄膜具有高硬度、高强韧性、低摩擦系数、高膜基结合力的优点。鉴于以上描述，本发明可为高性能自润滑材料设计提供基础理论与方法，并拓展非晶碳薄膜在机械工程及其他领域的应用。