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一种电化学蚀刻实验装置

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专利申请号
CN202110754057.0
专利类型
发明专利
技术分类
C25F7/00(2006.01)I
专利有效期
2041-07-04
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专利信息
专利名称:一种电化学蚀刻实验装置
商品编号:5675308
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申请日期:2021-07-04
公开/公告号:CN113584570B
授权公告日/公开日:2023-05-02
申请/专利权人: 山东***学
发明/设计人: 郑秀***秋连
主分类号:C25F7/00(2006.01)I
IPC分类号:C25F7/00(2006.01)I;C25F3/02(2006.01)I
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本发明涉及电化学蚀刻实验技术领域,具体为一种电化学蚀刻实验装置,包括蚀刻槽,位于蚀刻槽的外侧的蚀刻电源和高度计,以及位于蚀刻槽的内部的阴极座和阳极座,阳极座的底部固定连接有支承板,支承板可拆卸连接有阳极,蚀刻槽设有驱动支承板升降的升降机构,以及驱动支承板从竖直状态翻转到水平状态的翻转机构;蚀刻槽的外侧设有热风机,热风机的出口端连接有送风软管,阳极座内开设有空腔,送风软管的一端与空腔连通,阳极座固定连接有与空腔连通的气刀。本发明在记录蚀刻深度时,实验人员不会直接地接触到阳极或蚀刻液,实验记录安全可靠,阳极可以快速烘干,节省阳极实验后处理的时间,实验记录操作简单。

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