一种共光路相移数字全息显微测量装置
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专利申请号：
CN202010597987.5
专利类型：
发明专利
技术分类：
G03H1/04(2006.01)I
专利有效期：
2040-06-28
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专利信息
专利名称：一种共光路相移数字全息显微测量装置
商品编号：5669920
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申请日期：2020-06-28
公开/公告号：CN111796501B
授权公告日/公开日：2022-03-22
申请/专利权人：
西安***学
发明/设计人：
刘丙***永强
主分类号：G03H1/04(2006.01)I
IPC分类号：G03H1/04(2006.01)I;G03H1/12(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01B9/021(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种共光路相移数字全息显微测量装置，包括沿光路方向依次固定设置的光纤激光器(1)、光纤准直器(2)、可调衰减器(3)、显微物镜(5)、平面平晶I(6)、平面平晶II(7)、压电陶瓷驱动器(8)、会聚透镜(9)、滤波器(10)和成像探测器件(11)，所述成像探测器(11)通过电缆与计算机(12)连接。本发明利用紧邻的两平面平晶，实现参考光和测试光间的相位差变化，获得被测目标的相移数字全息显微成像。该装置不但消除了非共光路中系统噪声的影响，而且易于实现高精度相移全息，有效地提高了数字全息的相位重建精度。
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