一种液滴靶发生器振动监测装置及方法

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液滴靶发生器振动监测装置及方法，包括液滴靶发生器，在所述液滴靶发生器的下侧布置有微孔喷嘴，还包括两组探针，沿微孔喷嘴的X轴和Y轴均设置有一组探针，所述探针上分别连接有探针臂；还包括两组激光发生器。本发明具有的有益效果是：相比传统的摄像头监测等方法，本发明所提出的监测方法直接监测液滴靶发生器，且原子力探针的监测方式具有非常高的精度，对液滴靶发生器的横向高频运动信号具有较好的监测能力；同时原子力探针的监测方式不受被测表面温度的影响，实时的监测信号可作为液滴靶发生器振动补偿、漂移修正等装置的参考信号，能有效的增强液滴靶发生器的工作稳定性。