一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片的流量流速的微阀

本发明提供一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量调节的微阀，其包括包括驱动模块和传感调节模块以及流量调节方法。其驱动模块包括保温腔、电磁加热器、空腔层等，用来为微阀提供动力源。传感调节模块主要包括温度薄膜传感器、压电薄膜以及PDMS薄膜等，用来检测温度是否达到标准以及流量是否达到预期。两个模块通过彼此间的配合来实现调节微流控芯片通道的流量大小以及开关。使用温度作为动力源，通过温度薄膜传感器的反馈精准控制动力的大小，最后通过压电薄膜反馈是否达到要求。本发明所设计的微流控芯片流量调节的微阀具有体积小、控制精度高，灵敏度高，可实时反馈等优点。