一种线圈电磁挤压式磁过滤装置
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专利申请号:
CN202110744587.7
专利类型:
发明专利
技术分类:
C23C14/32(2006.01)I
专利有效期:
2041-07-01
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专利信息
专利名称:一种线圈电磁挤压式磁过滤装置
商品编号:5657650
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申请日期:2021-07-01
公开/公告号:CN113463039A
授权公告日/公开日:2021-10-01
申请/专利权人:
安徽***学
发明/设计人:
赵**
主分类号:C23C14/32(2006.01)I
IPC分类号:C23C14/32(2006.01)I
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置,属于真空镀膜技术领域,包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件;所述电弧阴极设置在所述安装法兰上,所述安装法兰与所述偏转室的一端连接,所述偏转室的另一端与所述真空室连通,所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式,能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转,完成大颗粒的过滤,使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善,有利于大面积和均匀沉积;并且在完成膜层沉积时,工件转架具有很大的自由设计空间,不被磁控过滤弯管的位置所限制,值得被推广使用。
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