高精度空间平动微定位平台

本发明提供了一种高精度空间平动微定位平台，其能解决现有集中柔度式微定位平台运动行程小，容易出现应力集中，平台定位精度低的问题。其包括基座、动平台和三个柔性支链，柔性支链的柔性移动副包括两组对称布置的柔性簧片，同组中的两个柔性簧片互相平行，主动副中同组的两个柔性簧片通过刚性连接件一连接，第一被动副和第二被动副结构相同，其两组柔性簧片的一端共同连接在刚性连接件二上，另一端共同连接在刚性连接件三上；主动副的刚性连接件一固接在基座上，柔性簧片和压电陶瓷驱动器分别与第一被动副的刚性连接件二连接；第一被动副的刚性连接件三与第二被动副的刚性连接件二连接，第二被动副的刚性连接件三与动平台固接。