一种位移测量系统及测量方法

本发明公开了一种位移测量系统，其特征在于，所述系统包括：光源；Alvarez透镜组，所述Alvarez透镜组由面形互补的第一Alvarez透镜和第二Alvarez透镜组成，且所述第二Alvarez透镜相对于所述第一Alvarez透镜沿垂直于光轴方向移动，通过调整移动距离调整所述Alvarez透镜组焦距，进而控制所述平行光到达针孔的光能量；针孔，用于透过所述Alvarez透镜组射出会聚光；光探测器，用于探测从所述针孔透过的光能量。本发明提供的测量系统结构简单，仅几个器件结合光学知识就能实现位移的高精度测量，测量精度可达1.33nm。这对于高精度位移传感领域的应用来说，具有很重要的意义。