一种多级加工研磨抛光装置

本发明涉及一种多级加工研磨抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨盘、底座、中心轴和电机，研磨盘的上方设有多层环形的挡板，挡板由内到外半径逐渐增加，将研磨盘由内到外分成多个环形区域，环形区域内依次交替装有磨料流和清水；磨料流的粒度由内至外逐渐减小；每个挡板上均设有开关门，所有开关门集成一体，同时控制。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件分别进行不同程度精度的加工；工件依次经过不同程度精度的加工，实现了从研磨到抛光的快速衔接，避免了加工过程中刚更换设备或工具，充分提高了加工效率与设备的利用率，节约了资源。