一种具有加载装置的多级抛光盘

本发明涉及一种具有加载装置的多级抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴、转动装置和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，工件安装轴装在滑台上；研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，所有挡板均与研磨抛光盘同轴心，将研磨抛光盘从内到外分成多个环形区域，不同区域的磨料粒度不同。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件分别多种不同程度精度的研磨加工；研磨抛光盘转动的时候工件也会跟着自转运动，二者的共同作用下可实现待加工表面的加工纹理无序化从而提高了加工效率与质量。