一种切割晶圆用的清洗设备

本发明公开了一种切割晶圆用的清洗设备，其结构包括清洗槽、提手、散热口、旋钮，清洗槽镶嵌设于旋钮的正上方，提手对称安装在旋钮的上方左右两侧，散热口嵌固安装在提手的正下方，旋钮活动卡合安装在散热口的左侧方，在晶圆片向下挤压闭合片时，会将闭合片内的空气顺着空心管向下排放至气囊中，使气囊随着闭合片空气的灌入而向外膨胀，从而对端面间的间隙进行填充，能够有效的对晶圆片的左右两端进行固定，且由于橡胶块的内端面为蜂窝状的阵列橡胶制成，能够有效的保证对晶圆片的固定，且利用蜂窝状的镂空槽，将位于放置盘中的水流浸湿溢过晶圆片，使得晶圆片能够有效且均匀的受到水流的振动清洗效果。