一种微纳米量级的二元面结构光检测方法及系统

本发明提供一种微纳米量级的二元面结构光检测方法及系统，该方法采用二元面结构光，采用LED光照射后采集的反射光强信息和图像确定目标物体的轮廓信息，再由计算机控制机械手臂位移一定距离坐标至目标大概位置，之后由光纤束传输投射编码面结构光，采集放大后的调制光信息图像进行三维重建获取微小目标的三维信息，最终引导机器人获得微纳米器件的精准位置及结构状态，使机器人实现微纳米器件的检测及组装功能。本发明的有益效果是：本发明基于面结构光的三维点云和由曲面深度变化引起的光辐照度变化获得的三维信息，光强变化的信息可以生成另外一组三维数据，利用两种不同特性参量的点云数据，将点云数据融合，增强系统结构光测量的精度。