基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统

本发明公开了基于微全息阵列的波前传感器、波前探测方法及系统，其中，所述基于微全息阵列的波前探测方法通过创建同时具有微透镜阵列成像和双螺旋点扩散函数功能的微全息阵列；待测波前经过所述微全息阵列在其后焦面上得到双螺旋点阵图；根据所述双螺旋点阵图获得波前斜率值，对所述波前斜率值进行波前重构，得到待测的波前信息，通过将待测波前经过微全息阵列后，在其后焦面上得到双螺旋形式的点阵图，当微全息阵列后焦面的像点存在离焦时，双螺旋点会按一定规律旋转而不会想高斯点一样明显扩大，因此能抑制波前离焦误差对于重构精度的影响，当样品发生轴向位移时依然能够得到高的探测精度，在保证探测精度的前提下提高了传感器轴向的探测范围。