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制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法

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专利申请号
CN201810949420.2
专利类型
发明专利
技术分类
C30B23/00
专利有效期
2038-08-20
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专利信息
专利名称:制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法
商品编号:5558215
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申请日期:2018-08-20
公开/公告号:CN109023513B
授权公告日/公开日:2020-12-01
申请/专利权人: 深**学
发明/设计人: 覃佐***瑞生
主分类号:C30B23/00
IPC分类号:C30B23/00; C30B29/40
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本发明公开了一种制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法,坩埚设备包括坩埚体、衬底及衬底温场调整组件;其中,坩埚体的内部自下而上分为相互连通的第一腔室、第二腔室及第三腔室,且第二腔室的直径小于第一腔室与第三腔室的直径;衬底温场调整组件为中空圆柱体,衬底覆盖于坩埚体的开口,衬底温场调整组件的底面与衬底远离上述开口的表面相贴合。相较于现有技术而言,上述坩埚设备能够有效的降低氮化铝晶体的成核数,并且能够得到尺寸较大的氮化铝晶体。

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