平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的工艺

本发明公开了平板显示屏玻璃湿化学加工低风速吹扫残液的装置，属于平板玻璃和半导体硅片表面湿化学加工技术领域，该装置在工件的上、下均有设置，其包括端口、入风口、风道和出风口；端口的一端与空气压缩泵相连，在端口的另一端设有入风口，入风口与风道的一端相连，在风道的另一端设有出风口；出风口、风道和入风口相连通。本发明还公开了该装置的应用工艺。本发明能很好地将玻璃片等工件表面的液体去除，可提高蚀刻液等反应溶液的使用寿命；能减少高纯水的消耗，减少清洗污水的产生；出风温度与环境温度之差不大于5℃，即去除了玻璃片表面的化学液体，又不至于由于风温明显升高，干扰表面的化学反应，造成工艺控制的困难，影响制品的质量。