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一种高密度嵌入式线路的制作方法

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专利申请号
CN201710977049.6
专利类型
发明专利
技术分类
H05K3/10
专利有效期
2037-10-19
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专利信息
专利名称:一种高密度嵌入式线路的制作方法
商品编号:5533917
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申请日期:2017-10-19
公开/公告号:CN107846784A
授权公告日/公开日:2018-03-27
申请/专利权人: 广东***学
发明/设计人: 崔成***杨斌
主分类号:H05K3/10
IPC分类号:H05K3/10
说明书摘要免费下载摘要

本发明提供了一种高密度嵌入式线路的制作方法,包括以下步骤:a)、将不锈钢板通过微纳加工,得到表面带有下凹的预设线路图形的母板;b)、在所述母板的线路图形的凹槽内镀铜,得到铜层线路;c)、利用表面粘附有临时键合胶的面板将铜层线路取出,热压在粘附有粘合胶的基板上,固化后再去除临时键合胶;d)、采用化学腐蚀法减薄铜层,得到高密度的嵌入式线路。该方法制成的嵌入式线路能够具有更高的稳定性,同时具有很小的线宽和线距,从而有利于显著地提高线路的集成密度。采用该申请技术方案能够达到的线宽为1~100μm;线距为1~200μm。

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