溶胶凝胶法制备（110）晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法
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专利申请号：
CN201210441407.9
专利类型：
发明专利
技术分类：
C30B5/02
专利有效期：
2032-11-07
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专利信息
专利名称：溶胶凝胶法制备（110）晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法
商品编号：5410997
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申请日期：2012-11-07
公开/公告号：CN103060887B
授权公告日/公开日：2015-06-03
申请/专利权人：
陕西***学
发明/设计人：
谈国***薛旭
主分类号：C30B5/02
IPC分类号：C30B5/02; C30B29/22
说明书摘要免费下载摘要
本发明提供了一种溶胶凝胶法制备（110）晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法，包括以下步骤：以硝酸铋、硝酸铁、硝酸钕和硝酸钴为原料，按摩尔比0.90:1-x:0.15:x（x=0.01~0.03）溶于混合的乙二醇甲醚和***中（体积比3:1），其中铋离子过量5%以补偿薄膜退火过程中的挥发，得到金属离子浓度为0.3mol/L的稳定BiFeO3前驱体溶液；在FTO基片上匀胶后烘干得干膜，然后在550℃逐层快速退火得到所期望厚度的晶态BiFeO3薄膜。本发明设备要求简单，实验条件容易达到，并且可通过精确控制前驱液溶剂比及A-B位共掺杂来制备（110）晶面择优生长的剩余极化强度大于130μC/cm2的BiFeO3薄膜。
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