一种多样品快速更换型扫描探针显微镜
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专利申请号:
CN202010341820.2
专利类型:
发明专利
技术分类:
G01Q60/00
专利有效期:
2040-04-27
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专利信息
专利名称:一种多样品快速更换型扫描探针显微镜
商品编号:5389964
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申请日期:2020-04-27
公开/公告号:CN111505341A
授权公告日/公开日:2020-08-07
申请/专利权人:
南京***大学
发明/设计人:
郭颖***翔
主分类号:G01Q60/00
IPC分类号:G01Q60/00; G01Q30/02
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种多样品快速更换型扫描探针显微镜,包括样品台、探针,XY限位装置、质量块、扫描管、压电管,所述样品台与探针两者之一安装于质量块,另一者安装于扫描管自由端,初始状态时探针正对着样品台中间位置;所述质量块设于XY限位装置内,质量块安装在压电管顶端,对压电管施加尖峰信号,通过控制压电管甩动来带动质量块在XY限位装置内XY方向上的移动;扫描管与压电管两者之一连接驱动机构,另一者连接基座。本发明通过二维方向移动质量块,使得样品台四个角和中心的样品都能精确处于扫描管正下方,能够实现多种样品的依次扫描与快速切换。
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