基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台

本发明涉及一种基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，包括三维振动平台及其匹配的X轴向振动台、Y轴向振动台和Z轴向振动台，其特征是：各个振动台与所述三维振动平台通过磁悬浮解耦装置连接，所述磁浮解耦装置包括至少一对同极相对的磁体，两个磁体通过各自匹配的安装架分别与三维振动平台其中一安装面及该安装面所对应的振动台硬连接。本发明的X、Y、Z轴向解耦装置通过磁体之间产生的磁膜进行安装轴向振动传递及非安装轴向运动的润滑导向，进而实现三分量运动解耦。磁膜覆盖的面积大，稳定，能够提供稳定均匀的支撑力。此外，磁悬浮解耦装置容易实现精密加工及装配，可以保证对三个轴向振动的精确传递及润滑导向。