基于光波导结构的微驱动器
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专利申请号:
CN201910682015.3
专利类型:
发明专利
技术分类:
G02B6/10
专利有效期:
2039-07-26
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专利信息
专利名称:基于光波导结构的微驱动器
商品编号:5350218
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申请日期:2019-07-26
公开/公告号:CN110308514B
授权公告日/公开日:2021-01-26
申请/专利权人:
南京***学
发明/设计人:
方玉***于映
主分类号:G02B6/10
IPC分类号:G02B6/10; G02B6/12; G02B6/125; G02B26/00
说明书摘要免费下载摘要
本发明涉及一种基于光波导结构的微驱动器,其结构包括光波导层和驱动臂两部分。其中,光波导层含有光波导结构和光热转换区域;光波导层和驱动臂两层或者多层以上下叠加的形式组合而成。其中,所述光波导层可为单层或者多层,光波导结构可为直波导、“U”形波导、Y分支、定向耦合器、环形谐振腔、波导光栅或马赫‑曾德尔结构及其变换形式,光热转换区可位于光波导结构的芯层或者包层或者驱动臂或者光热转换区位于光波导层和驱动臂之间或者光波导层表面。本发明提供的基于光波导结构的微驱动器,利用光波导结构控制入射的光信号的导模传输,有利于实现微光机电系统的小型化,集成化和多重控制。
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基于光波导结构的微驱动器专利,专利类型:发明授权,技术分类是:G02B6/10,购买基于光波导结构的微驱动器专利,需要申请人和发明人的基础信息,还需提供基于光波导结构的微驱动器专利的详细信息。
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