一种微悬臂梁阵列循环扫描系统

本发明公开了一种微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：以固定设置的同一只激光器作为M个扫描单元的共用激光光源，激光器固定地呈水平发出激光光束；以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台的不同位置上；驱动转动台的转动，使M只平面反射镜随着转动台的转动逐一地处在所述激光光束的光路中，并在M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，驱动转动台循环转动，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。本发明系统搭建简单且易于控制，精度高。