一种热分解薄膜制备反应装置
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专利申请号:
CN201810722202.5
专利类型:
发明专利
技术分类:
C23C16/455
专利有效期:
2038-06-26
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专利信息
专利名称:一种热分解薄膜制备反应装置
商品编号:5237305
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申请日期:2018-06-26
公开/公告号:CN108588682B
授权公告日/公开日:2023-05-23
申请/专利权人:
重庆***学
发明/设计人:
马五***专青
主分类号:C23C16/455
IPC分类号:C23C16/455; C23C16/458
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开一种热分解薄膜制备反应装置,石英管进口端的内部同轴设有一根供前驱体气溶胶通过的压缩管,石英管出口端处设有密封套,该密封套连接有尾气收集冷却组件,并在石英管出口端外面套有外冷却管;挡气块由条形连接部和遮挡部构成,其中遮挡部为n形结构,遮挡部的连接边顶部与条形连接部底端固定,该条形连接部上的条形孔中穿设有锁紧螺母。本发明设置用于水平放置衬底的沉积舟,该沉积舟具有热解反应腔,并配合第一、二阻热片和压缩管的缩口能让热解反应腔的流场、温度场恒定,从而让衬底近表面气流场、温度场恒定,同时又通过加载短波长光线和加电场的方式提高前驱体前驱体气溶胶的“活性”,最终保证热解反应的顺利进行,提高薄膜的成膜质量。
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