一种单晶生长炉远程监控系统

本实用新型公开了一种单晶生长炉远程监控系统，所述单晶生长炉远程监控系统包括：用于测量单晶生长炉内参数的数据采集模块；用于接受单晶生长炉内参数采集信息并进行控制的PLC控制器模块；数据采集模块包括用于采集单晶生长炉内溶液图像的CCD相机；用于连接客户端模块和采集数据的通信模块；用于与各硬件装置连接并进行供电的电源模块；用于数据上传和存储的服务器模块。本实用新型提供的种单晶生长炉远程监控，各硬件设备数据传输方式采取有线传输，使用RS485通讯传输接口与Modbus通讯协议，克服了无线传输设备距离带宽受限的缺点，适合于多个测量参数与客户端模块之间数据的共同传输需求；而且，RS485是差分信号传输方式，具有较强的抗干扰能力。