数字市场 专利库 紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法
紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法

紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法

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专利申请号：
CN201610595330.9
专利类型：
发明专利
技术分类：
C23C20/08
专利有效期：
2036-07-26
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专利信息
专利名称：紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法
商品编号：5234647
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申请日期：2016-07-26
公开/公告号：CN106048570A
授权公告日/公开日：2016-10-26
申请/专利权人： 西安***学
发明/设计人： 赵高***王婷
主分类号：C23C20/08
IPC分类号：C23C20/08
说明书摘要免费下载摘要

本发明公开了紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法，以Nb(CH3CH2O)5、CH3COOLi·2H2O、苯酰丙酮、无水乙醇、丙烯酸按一定的摩尔比例制成，随后添加无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3～0.5mol/L，即可得到感光LiNbO3溶胶；本发明还公开了使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法，利用感光LiNbO3溶胶，通过浸渍提拉法在基板上制备凝胶薄膜，随后依次经干燥、曝光、溶洗、热处理，即得LiNbO3薄膜微细图形。本发明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝胶膜光刻，无需其他辅助工艺，即可制备大面积微细图形；浸渍提拉法获得紫外感光LiNbO3凝胶薄膜，薄膜厚度易控制，可获得较大尺寸凝胶膜，制备的LiNbO3微细图形线条光滑，结构规整，薄膜没有污染，性能稳定。

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