制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列
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专利申请号：
CN201710579276.3
专利类型：
发明专利
技术分类：
C23C16/40
专利有效期：
2035-11-11
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专利信息
专利名称：制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列
商品编号：5155341
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申请日期：2015-11-11
公开/公告号：CN107447202A
授权公告日/公开日：2017-12-08
申请/专利权人：
南**学
发明/设计人：
宋长***海宏
主分类号：C23C16/40
IPC分类号：C23C16/40; C23C16/52; C23C16/455
说明书摘要免费下载摘要
一种制备Bi(AlxGa1-x)O3薄膜的气体脉冲序列，由有机铋源气体脉冲、有机铝源气体脉冲、有机镓源气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲组成，在一个生长周期中，各气体脉冲数量为4的倍数且不小于12，有机铋源气体脉冲和有机铝源气体脉冲的数量之和等于氧前驱体脉冲的数量，有机铋源气体脉冲、有机铝源气体脉冲和氧前驱体气体脉冲的数量之和等于惰性气体脉冲的数量，在任意一个有机铋源气体脉冲或氧前驱体气体脉冲或有机铝气体脉冲的之前或之后，都具有一个惰性气体脉冲；在任一个有机铋源气体脉冲或有机铝气体脉冲的次邻近处，都还具有一个氧前驱体气体脉冲。可以实现Bi(AlxGa1-x)O3薄膜生长厚度的精确可控。
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制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列专利，专利类型：发明授权，技术分类是：C23C16/40，购买制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列专利，需要申请人和发明人的基础信息，还需提供制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列专利的详细信息。
专利交易转让时间是多久？
专利权转让期限一般是2~6个月的时间获得专利转让通知书，在转让之前双方需要签订转让合同即可，制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列专利具体的操作步骤，可以联系八戒数字交易的客服一对一服务。
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