一种具有温度调节功能的真空镀膜装置
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专利申请号:
CN202220119102.5
专利类型:
实用新型
技术分类:
C23C14/00
专利有效期:
2032-01-17
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专利信息
专利名称:一种具有温度调节功能的真空镀膜装置
商品编号:5149426
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申请日期:2022-01-17
公开/公告号:CN217104047U
授权公告日/公开日:2022-08-02
申请/专利权人:
深圳***公司
发明/设计人:
阳**
主分类号:C23C14/00
IPC分类号:C23C14/00; C23C14/54
说明书摘要免费下载摘要
本实用新型公开了一种具有温度调节功能的真空镀膜装置,包括上料腔室,所述上料腔室的一侧设置有腔门,所述腔门的上方安装有控制器,所述上料腔室的另一侧开设有出料口,所述出料口安装有挡温组件和出料板;本实用新型主要是通过第一温度传感器、第二温度传感器、控制器和隔温组件的配合,在腔门打开时,通过隔温组件将上料腔室内的温度进行阻隔,控制器根据第一温度传感器和第二温度传感器的数据差异控制加热板对上部进行加温,当腔门关闭时,通过第二电机带动隔板转动,使上部温度向下部传递,加快下部温度的升温效率,从而使上料腔室可以根据加料或上料的不同情形进行温度调节,一定程度上提高工件预热效率。
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