一种空心阴极阵列放电射流装置

本发明公开了一种空心阴极阵列放电射流装置，属于材料表面处理技术领域。包括空心阴极阵列电极放电发生装置和辉光射流发生装置；辉光射流发生装置包括高压供气腔，低压工作腔，负压产生装置和辉光射流区控制装置；高压供气腔设有可调气阻和电极阴极侧连接口，电极阴极侧连接口与空心阴极阵列电极的电极底衬的外壁密封连接；低压工作腔设有电极阳极侧连接口和进料口密封门；低压工作腔通过负压管与负压产生装置连接，以用于在低压工作腔内产生负压；电极阳极侧连接口与空心阴极阵列电极的电极底衬的外壁密封连接；辉光射流区控制装置使高压供气腔内保持给定气压。它可应用于材料表面处理领域，具有处理效果好，便于实现等特点。