一种惯性粘滑驱动跨尺度精密运动平台

本发明公开了一种惯性粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括惯性组件、压电陶瓷、运动组件和弹性形变组件，惯性组件包括惯性传动部件和与惯性传动部件相连接的摩擦部件，压电陶瓷具有相对设置的第一端和第二端，压电陶瓷的第一端与惯性传动部件相连接，压电陶瓷的第二端与运动组件相连接，弹性形变组件包括相对设置的弹性形变组件第一端和弹性形变组件第二端，弹性形变组件第一端与运动组件相接触，弹性形变组件第二端与惯性传动部件相接触，惯性组件的摩擦部件包括磁性摩擦底面和沿磁性摩擦底面纵向方向设置于摩擦部件底部的非磁性滑动件。该精密运动平台结构简单，制作工艺简单，制造成本较低，可实现跨尺度的精密定位，且可实现爬坡式运动。