一种太阳能硅片表面清洁处理方法
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专利申请号:
CN201611164504.2
专利类型:
发明专利
技术分类:
H01L21/67
专利有效期:
2036-12-15
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专利信息
专利名称:一种太阳能硅片表面清洁处理方法
商品编号:4909993
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申请日期:2016-12-15
公开/公告号:CN106684020B
授权公告日/公开日:2019-10-22
申请/专利权人:
台州***公司
发明/设计人:
梁荣***小坚
主分类号:H01L21/67
IPC分类号:H01L21/67; H01L31/18; B08B3/04; B08B3/08; B08B13/00
说明书摘要免费下载摘要
本发明涉及一种太阳能硅片表面清洁处理方法,所采用系统包括安装支撑架;安装支撑架上设有清洗槽机构,第一、第二干燥处理箱,四个机械移动机构和三对清洗槽机构械手组件;所述清洗槽机构还包括有多个太阳能硅片承载花篮,太阳能硅片承载花篮上设有若干用于隔离太阳能硅片的隔离板;所述干燥处理箱均包括有干燥箱箱体、循环风机和热能器;干燥箱箱体的前后侧设有上下移动的箱门,其中一侧构成干燥箱箱体的入口,另一侧构成干燥箱箱体的出口;干燥箱箱体内的左右侧各设有一个前后走向的花篮箱内支撑移动机构。本发明适用于太阳能电池的清洁作业使用、具有较高自动化工作性能。本发明所述的清洁工艺,太阳能电池可以获得良好的清洁效果。
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