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一种实现局部互连的结构及方法

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专利申请号
CN201510131865.6
专利类型
发明专利
技术分类
H01L23/528
专利有效期
2035-03-24
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专利信息
专利名称:一种实现局部互连的结构及方法
商品编号:4909959
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申请日期:2015-03-24
公开/公告号:CN104733433B
授权公告日/公开日:2019-06-25
申请/专利权人: 上海***公司
发明/设计人: 亢勇***邦明
主分类号:H01L23/528
IPC分类号:H01L23/528; H01L21/768; H01L27/11521
说明书摘要免费下载摘要

本发明涉及半导体器件结构及其制造技术领域,尤其涉及一种利用控制栅实现局部互连的结构及方法。通过在Flash结构中将控制栅设置在浅沟道隔离结构的上方,利用控制栅做器件之间的局部互连,通过这些局部的互连线可以减小器件所用的层次,从而减小器件的面积,且不会造成器件串扰。

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