一种硅板机械清洗装置
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专利申请号:
CN201810334479.0
专利类型:
发明专利
技术分类:
H01L21/67
专利有效期:
2038-04-14
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专利信息
专利名称:一种硅板机械清洗装置
商品编号:4906319
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申请日期:2018-04-14
公开/公告号:CN108573904A
授权公告日/公开日:2018-09-25
申请/专利权人:
安徽***公司
发明/设计人:
艾**
主分类号:H01L21/67
IPC分类号:H01L21/67
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种硅板机械清洗装置,涉及微电子清洗设备技术领域,包括承载装置和清洗装置,清洗装置包括转盘,转盘下表面设有软羊毛刷,转盘顶部连接有电机,承载装置包括承载底座,承载底座中心对称设有四个承载滑槽,承载滑槽内设有固定组件,固定组件包括U型框和挡板,U型框两端内壁设有T型滑槽,挡板两端设有T型凸起,T型凸起与T型滑槽滑动连接。通过本装置,可以快速对硅板完成更换和翻转,减少了更换硅板的时间,提高了工作效率。
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