数字市场 专利库 嵌套式扫描探针显微镜

嵌套式扫描探针显微镜

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专利申请号
CN202110737437.3
专利类型
发明专利
技术分类
G01Q60/00
专利有效期
2041-06-30
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专利信息
专利名称:嵌套式扫描探针显微镜
商品编号:4905673
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申请日期:2021-06-30
公开/公告号:CN113406360B
授权公告日/公开日:2022-03-08
申请/专利权人: 南京***大学
发明/设计人: 郭颖***兴强
主分类号:G01Q60/00
IPC分类号:G01Q60/00; H02N2/00; H02N2/10
说明书摘要免费下载摘要

本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜,包括壳体,还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头;步进马达安装于壳体内壁,绝缘管周向设置于步进马达内壁上;绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件,绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合;扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端,测试端包括用于扫描样品的探针;步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果,且具有抗干扰、高度对称性特点,能够减少温度变化引起的热漂移,提高扫描成像的质量。

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