一种大范围键合金丝参数测量装置

本实用新型公开了一种大范围键合金丝参数测量装置，包括测量装置本体，所述测量装置本体设有CCD相机，所述CCD相机可拆卸地连接有远心镜头，所述远心镜头底端固定安装有小景深物镜，所述远心镜头一侧固定连接有高度调节装置，所述高度调节装置通过固定螺丝固定连接有支撑柱，所述支撑柱固定连接有底座；所述底座远离支撑柱的一侧固定安装有升降台，所述升降台上方固定安装有XY轴滑动装置，所述XY轴滑动装置上方固定连接有载物台，所述载物台顶部设有键合模型。本实用新型解决了传统的键合金丝参数测量装置测量范围小和测量精度低的问题，设计了一种大范围键合金丝参数测量装置。