数字市场 专利库 用于系统级封装的防静电装置

用于系统级封装的防静电装置

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专利申请号
CN201711352400.9
专利类型
发明专利
技术分类
H01L23/538
专利有效期
2037-12-15
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专利信息
专利名称:用于系统级封装的防静电装置
商品编号:4858134
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申请日期:2017-12-15
公开/公告号:CN108054156A
授权公告日/公开日:2018-05-18
申请/专利权人: 西安***公司
发明/设计人: 张*
主分类号:H01L23/538
IPC分类号:H01L23/538; H01L27/02; H01L21/762
说明书摘要免费下载摘要

本发明涉及一种用于系统级封装的防静电装置,包括:Si衬底(101);器件区,设置于所述Si衬底(101)内,包括纵向结构的SCR管(102)和隔离区(103),所述隔离区(103)设置于所述SCR管(102)两侧且上下贯通所述Si衬底(101);第一TSV区(104)和第二TSV区(105),设置于所述Si衬底(101)内且位于所述器件区两侧且上下贯通所述Si衬底(101);互连线,设置于所述Si衬底(101)上用于串行连接所述第一TSV区(104)的第一端面、所述SCR管(102)和所述第二TSV区(105)的第一端面;金属凸点(106);设置于所述第一TSV区(104)的第二端面和所述第二TSV区(105)的第一端面上。本发明提供的TSV转接板通过在TSV转接板上加工ESD防护器件SCR管,增强了层叠封装芯片的抗静电能力。

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