一种利用盐酸和四氯化硅制备多晶硅的系统及方法

本发明公开了一种制备多晶硅的系统，包括SiHCl3合成系统、氯硅烷分离系统和多晶硅制备系统，原料在合成系统反应得氯硅烷混合物，经分离后SiH2Cl2、SiCl4返回合成系统，SiHCl3纯化后进入多晶硅制备系统，多晶硅制备系统包括三氯氢硅还原系统、尾气分离系统和四氯化硅氢化系统，制备多晶硅的尾气经尾气分离后HCl、杂质排残物返回SiHCl3合成系统，H2、SiH2Cl2和SiHCl3返回三氯氢硅还原系统，SiCl4进入四氯化硅氢化系统与H2反应，反应产物返回尾气分离系统。本发明还公开了与该系统对应的多晶硅制备方法。本发明按各种物料纯度分级循环，避免高纯物料与粗品物料混合带来的反复纯化。