压电-液压混合直线型步进电机及其工作方法

本发明公开了一种压电‑液压混合直线型步进电机及其工作方法。该电机包括：定子、动子及底座；所述定子包括驱动足、支座以及弹性预紧机构，所述驱动足包括两组对称的平行于导轨布置的压电叠层和垂直于导轨方向布置的振动液压缸，分别为定子驱动足提供平行于导轨方向和垂直于导轨方向的微幅振动。用对称的三角形周期信号激励平行于导轨方向的压电叠层，用对称的矩形周期信号激励垂直于导轨方向的振动液压缸，实现电机定子和动子之间的摩擦驱动特性在驱动阶段和回程阶段具有明显差异，从而使得动子在驱动阶段的运动距离大于在回程阶段的运动距离，该类电机的定位精度也从纳米级向微米级渐变，这有望部分代替结构复杂的宏微结合的定位平台。